超廉价 手机专用单镜片扫描投影问世
日本产业技术综合研究所开发出了一种可低成本实现高清投影机的新技术，通过以二维方式扫描单镜片，可显示高清图像。并在日前召开的“MEMS
2006”会议上进行了技术发表（论文编号：MP39）。用于扫描激光的镜片驱动元件采用金属冲压技术而不是MEMS技术。
单镜片方式扫描显示器能够以较低的成本和较小的尺寸实现大屏幕显示。比如，嵌入手机的投影机和笔型投影机等产品的实现将成为可能。为此，众多企业和研究机构都在进行开发。
此次的技术利用尺寸约为4mm×8mm、厚度约30～50μm的不锈钢（SUS304）形成镜片驱动部。通过在这个部分形成PZT，即可实现基于压电元件的致动器。可通过施加给致动器的电压控制这种不锈钢板起伏波动。并利用这种运动扫描镜片（1mm×0.3～1mm）。
据负责此次开发工作的产综研尖端制造工艺研究部门集成加工研究小组称，这项技术具有两个特点：（1）利用金属实现驱动部；（2）利用ADM实现PZT膜。由此就实现了低成本、高速驱动。
通过（1）利用不锈钢实现驱动部，能够得到数十kHz的共振频率，从而就能进行高速扫描。要想显示高清图像，必须以36kHz的频率进行扫描。而此次开发的技术现已确证能够以50kHz的频率进行扫描。这是靠金属冲压加工实现的，与利用MEMS技术进行硅加工相比，能够降低成本。
（2）PZT膜的形成采用了ADM（aerosol deposition method，气胶成长法）技术。与基于普通MEMS工艺的薄膜形成技术相比，能够减少工序、降低成本。
